
半导体行业对材料的要求极高:耐腐蚀、耐高温、低析出、耐等离子体、尺寸稳定性强。氟塑料(PTFE、PFA、ETFE)在化学品输送和高纯系统中占主导,但在 结构件、承载件、耐磨件 上,PEEK 的优势更明显。PEEK 可用于阀门部件、机械支撑件、晶圆传输组件、等离子腔体内部件等,能承受高温、高真空和机械冲击。相比氟塑料,PEEK 的强度和耐磨性更高,因此在半导体设备中常作为“氟塑料的结构补充材料”,两者并非替代关系,而是协同关系。
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